SJ6000激光干涉儀檢測(cè)設(shè)備可以檢測(cè)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量，可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。

SJ6000系列激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能。可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量需借助WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)，與SJ6000角度測(cè)量配合使用。將WR50連接到回轉(zhuǎn)軸上，作為測(cè)角標(biāo)準(zhǔn)器，WR50可實(shí)現(xiàn)0~360°的角度測(cè)量范圍，±1″的測(cè)量精度，轉(zhuǎn)速為10rpm。