SJ6000系列激光干涉儀

一、SJ6000系列激光干涉儀功能特點

1. 測量精度高：以激光干涉技術為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。

2. SJ6000激光干涉儀具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉軸分度精度的測量。

3. 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。

4. 具有動態測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等。

5. 內置各種類國標（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等機床檢驗標準。可依據各種機床標準分析處理數據，并根據測量結果可打印相應的曲線圖和數據報告。

6. 可自動監測環境溫度、材料溫度、環境濕度和大氣壓力的參數。可選擇手動或自動對波長進行環境補償。

7. 測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數據輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

二、SJ6000系列激光干涉儀技術參數

• 穩頻精度：0.05ppm

• 線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

• 線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

• 角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

• 測量分辨力：1nm

• 動態采集頻率：50KHz

• 預熱時間：≤6分鐘

• 工作溫度范圍：（0-40）℃

• 環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%

三、SJ6000激光干涉儀使用注意事項

1.儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。

2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。

3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。

4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。

5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。

6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當的調整部件。

7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。

主營產品：閃測儀，一鍵式測量儀，圖像尺寸測量儀，機床測頭，激光干涉儀，光學3D表面輪廓儀，白光干涉儀，輪廓儀

中圖儀器經過十多年在幾何量測量領域的潛心研究，設計制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ5100系列高精度測長機、SJ5700系列輪廓測量儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量、計量設備。從納米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量，為用戶提供專業的精密測量解決方案。

目前，中圖儀器的產品已廣泛應用于計量質量檢測機構、汽車、航空航天、機械制造、半導體加工、3C電子等行業，為中國儀器在精密測量、計量檢測領域的技術進步做出了應有的貢獻。