激光干涉儀檢測設備

SJ6000激光干涉儀檢測設備采用高性能氦氖激光器、激光縱模熱穩頻技術、高速干涉信號采集、調理及細分技術以及納米級的分辨率，集光、機、電、計算機等技術于一體，是高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛。

產品參數

產品配置

（依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺）

產品特點

SJ6000激光干涉儀檢測設備具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可以檢測線性、角度、直線度、垂直度等幾何參量的高精度測量，可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉軸分度精度的測量。

測量機床垂直度

測量機床定位精度

WR50自動精密轉臺測量機床回轉軸精度

在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

注意事項

1）對角線測量套裝配置需求：對角線測量套裝＋可調轉向鏡

2）平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

3）平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

4）短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

5）長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

6）直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

配件與證書

SJ6000激光干涉儀以激光干涉技術為核心，分辨率可達納米級，SJ6000激光干涉儀可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。內置各種類國標（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等機床檢驗標準。可依據各種機床標準分析處理數據，并根據測量結果可打印相應的曲線圖和數據報告。