白光干涉儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

白光干涉測(cè)頭 主要特點(diǎn)：便攜可搭載 一鍵批量分析 生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

?SuperViewW1三維白光干涉形貌儀支持納米級(jí)高度測(cè)量，0.4μm級(jí)別的線寬測(cè)量，最大支持80倍的槽深寬比測(cè)量，具備點(diǎn)、線、面相關(guān)的寬度、高度、角度、直徑等各類(lèi)輪廓尺寸測(cè)量功能。

SuperViewW3大尺寸微觀形貌儀白光干涉測(cè)量各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高校科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器W1國(guó)產(chǎn)白光干涉儀可以對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

SuperViewW1白光干涉測(cè)量?jī)x在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。