白光干涉測量儀

白光干涉儀可以對各種產品、部件和材料表面的粗糙度、面形輪廓、腐蝕情況、波紋度、平面度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、磨損情況、表面缺陷、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉測量儀在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產品。

大多數的場景中，只需檢測一個數十、數百微米的區域，但在少數需要檢測超精密器件表面全貌的場景中，SuperViewW1白光干涉測量儀的自動拼接功能，能夠快速實現大區域、高精度的測量，還支持自動聚焦功能，只需將Z向調到貼近樣品表面（小于鏡頭工作距離），選擇好聚焦范圍，即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

技術參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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特點

一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；

二是測量速度快，不必像探頭逐點進行測量；

三是不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置；

四是對高深寬比的溝槽結構，可以快速而準確的得到理想的測量結果。