SuperView W1白光干涉儀檢測(cè)設(shè)備分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可以進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像的測(cè)量過(guò)程，通過(guò)系統(tǒng)軟件分析器件表面3D圖像并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，實(shí)現(xiàn)了器件表面形貌3D測(cè)量的效率高與簡(jiǎn)化性。

?現(xiàn)有的接觸式測(cè)量方法具有測(cè)量速度慢、易劃傷測(cè)量表面的缺點(diǎn)，而單一的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成對(duì)大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測(cè)量。SuperView W1白光干涉儀檢測(cè)儀器實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測(cè)量。

中圖儀器利用客戶現(xiàn)場(chǎng)一臺(tái)已經(jīng)廢棄的三坐標(biāo)平臺(tái)進(jìn)行氣浮隔振改造，在完成隔振模塊和WX-100白光干涉儀便攜式測(cè)頭的安裝后，客戶獲得了一臺(tái)具有超大尺寸平臺(tái)和負(fù)載的高精度白光干涉儀。

Super View白光干涉儀國(guó)內(nèi)品牌采用的測(cè)量方式是非接觸無(wú)損測(cè)量方式，避免了對(duì)被測(cè)物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無(wú)法檢測(cè)的表面形態(tài)測(cè)量和分析。集合了自身白光干涉三維重建技術(shù)和微納米顯微測(cè)量三維軟件，以及采用了集合相移法PSI的高精度和垂直法VSI大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，比肩進(jìn)口品牌，讓輪廓測(cè)量?jī)r(jià)格*為實(shí)惠。

中圖儀器白光干涉儀專用于非接觸式快速測(cè)量，具有三維形貌測(cè)量和圖像分析的功能。適合檢測(cè)的樣品按領(lǐng)域分為微納材料、超精密加工（機(jī)械、光學(xué)）、半導(dǎo)體封裝、消費(fèi)電子類這四個(gè)領(lǐng)域。

SuperView W3白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，