多軸測量光纖激光尺

中圖儀器PLR3000多軸測量光纖激光尺基于激光干涉測量原理，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域，提供精準、可靠的位置反饋與控制。

一、產品核心功能

1. 納米級信號輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環(huán)境自適應：一體化環(huán)境氣象站，實時補償環(huán)境參數(shù)對測量的影響，數(shù)據長期可靠；

3. 靈活安裝設計：激光主機與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實現(xiàn)多自由度測量；

5. 雙重使用模式：既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制；

二、產品特點

1. 超高精度：10nm分辨率+0.2ppm線性精度，滿足納米級測量需求，杜絕加工誤差導致的產品報廢；

2. 適配復雜工況：熱源隔離設計+環(huán)境實時補償，溫度/氣壓/濕度變化不影響數(shù)據穩(wěn)定性；

3.高效率低成本：多軸同步測量+快速安裝準直，減少設備調試時間，提升生產線流轉效率；

4. 多場景適配：4m大量程可拓展，動態(tài)速度支持2m/s，覆蓋靜態(tài)檢測到高速運動全場景；

三、產品優(yōu)勢

1. 精度碾壓傳統(tǒng)方案：相比鋼帶尺/玻璃光柵，柵距更精準、分辨率更高，環(huán)境補償技術進一步保障數(shù)據穩(wěn)定性；

2. 定制化適配能力：支持量程拓展、探頭選配、多通道輸出，根據客戶生產場景量身定制方案；

3. 降本增效屬性：體積小巧降低阿貝誤差，安裝快捷減少調試成本，動態(tài)測量能力適配高速生產線；

4. 全周期可靠保障：激光校準認證加持，數(shù)據可追溯，滿足工業(yè)生產合規(guī)要求；

四、產品應用

1. 半導體制造：光刻機晶圓精準定位、精密工件臺閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量，提升加工精度與效率；

4. 科研領域：光學平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設備控制，支撐前沿研究數(shù)據精準度；

五、服務與支持

1.定制化方案：PLR3000多軸測量光纖激光尺根據需求提供探頭配置、量程拓展、環(huán)境補償單元等靈活選配。

2.專業(yè)認證：提供激光校準證書，確保數(shù)據性。

3.全球服務網絡：1年質保，技術支持團隊7×24小時響應，快速解決現(xiàn)場問題。

注：產品參數(shù)將根據技術迭代持續(xù)優(yōu)化，故本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

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