膜層厚度臺階高度測量儀

中圖儀器NS系列膜層厚度臺階高度測量儀亞埃級精度，為B2B行業(yè)微觀測量痛點提供一站式解決方案。

你還在為微觀測量精度不足、效率低下、適配性差發(fā)愁？NS系列臺階儀（LVDC傳感器核心）憑借亞埃級分辨率、多場景適配性與智能化操作，直擊半導體、光伏、MEMS等行業(yè)測量痛點，為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化、質(zhì)量管控提供精準數(shù)據(jù)支撐，成為企業(yè)降本增效、科研突破的核心利器！

一、核心功能

1、高精度：13μm量程下達0.01埃分辨率，5?超高精度，輕松捕捉幾納米至幾百微米臺階形貌，解決微小尺寸測量誤差難題。

2、多方位測量：同步搞定臺階高度（納米-1050μm）、粗糙度（Ra/Rz等數(shù)十參數(shù)）、膜層厚度、應力分布，無需多設備切換，簡化測量流程。

3、適配無限制：不受樣品反射率、材料種類、硬度約束，半導體、光伏、光學加工等多行業(yè)通用，避免設備閑置浪費。

二、多場景測量解決方案：覆蓋全場景測量需求

1、核心參數(shù)測量：精準匹配工藝全流程

（1）臺階高度測量：適配蝕刻、濺射、沉積、CMP等工藝，精準量化材料沉積/去除量，保障工藝穩(wěn)定性。

（2）粗糙度&波紋度分析：通過微觀輪廓曲線計算數(shù)十項參數(shù)，滿足嚴格質(zhì)量管控標準。

（3）表面應力檢測：兼容多種材料，為材料性能分析提供關鍵數(shù)據(jù)，助力研發(fā)創(chuàng)新。

2、智能測量模式：高效提升檢測效率

（1）單區(qū)域測量：影像導航+一鍵啟動，操作簡單，快速完成單點精準測量。

（2）多區(qū)域批量測量：陣列式掃描路徑設置，批量樣品一鍵搞定，減少重復操作。

（3）3D可視化測量：自動完成掃描面掃描與3D圖像重建，微觀形貌直觀呈現(xiàn)，便于分析決策。

（4）SPC統(tǒng)計分析：生成數(shù)據(jù)變化趨勢圖表，為批量生產(chǎn)質(zhì)量追溯提供數(shù)據(jù)支持。

3、便捷操作設計：降低使用與維護成本

（1）雙導航光學影像：500W像素彩色相機（正視+斜視可選），掃描路徑精準設置，軌跡實時跟進，避免測量偏差。

（2）快速換針功能：磁吸式測針+軟件快速標定，現(xiàn)場秒換，保障精度與重復性，減少停機維護時間。

4、廣泛行業(yè)適配：聚焦核心應用場景

（1）半導體制造：沉積/蝕刻薄膜厚度測量、CMP工藝平整度檢測、抗蝕劑臺階高度分析，助力芯片良率提升。

（2）光伏&顯示面板：太陽能涂層膜厚檢測、AMOLED屏微結構分析、觸控面板銅跡線測量，適配光伏組件與顯示器件生產(chǎn)需求。

（3）MEMS&微納材料：微型傳感器形貌表征、柔性電子薄膜厚度檢測，支撐微納器件研發(fā)與量產(chǎn)質(zhì)控。

（4）科研與高校：材料表面應力分析、微加工工藝研發(fā)數(shù)據(jù)支撐，加速科研項目落地。

三、實際應用案例：光伏行業(yè)ITO膜高效測量

針對太陽能光伏ITO導電薄膜測量場景，NS200臺階儀提供定制化高效方案：

1. 全電動載物臺+360°旋轉(zhuǎn)臺，快速定位測量標志位，節(jié)省定位時間。

2. 自定義多區(qū)域測量，批量樣件一鍵多點位檢測，提升測量效率30%+。

3. SPC統(tǒng)計分析功能，直觀呈現(xiàn)數(shù)值變化趨勢，便于工藝調(diào)整優(yōu)化。

四、使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）

NS系列膜層厚度臺階高度測量儀具有精準、高效、適配性強的核心優(yōu)勢。如需針對您的行業(yè)場景定制測量方案、獲取詳細參數(shù)或申請樣品測試，歡迎隨時聯(lián)系中圖儀器，我們將為您提供專業(yè)技術支持與咨詢服務！（注：產(chǎn)品參數(shù)與功能可能隨技術升級更新，具體以實際溝通為準）