機床校準激光干涉儀

中圖儀器SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；也可以實現對機床回轉軸的測量與校準。

SJ6000機床校準激光干涉儀

SJ6000機床校準激光干涉儀可根據具體測量需求而選擇不同的組件，具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

注意事項

對角線測量套裝配置需求：對角線測量套裝＋可調轉向鏡

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

產品參數

產品型號： SJ6800

產品名稱： 激光干涉儀

穩頻方式： 激光雙縱模熱穩頻

穩頻精度： 0.04ppm

測量距離：≤（0-80）m（無需遠距離線性附件）

測量分辨力：1nm

測量至大速度：4m/s

線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

主要特點：絕對測量、恒測力、無阿貝誤差