非接觸三維表面輪廓測量儀

將白光干涉測量技術應用到3D表面輪廓儀中，可進行納米級的測量。

中圖儀器SuperViewW1非接觸三維表面輪廓測量儀在獲得實時數據的時候，不會對產品造成損傷，同時提高了生產效率，節約了生產成本。在線檢測還沒有滯后性，減少了不合格品，對便面缺陷的檢測也是如此。

產品功能

1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；

2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；

4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能；

5）具備自動對焦、自動測量、自動多區域測量、自動拼接測量等自動化功能；

6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具備word、excel等數據報表導出功能。

SuperViewW1非接觸三維表面輪廓測量儀提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數分析功能。擁有多種報表形式，讓輪廓測量價格更為實惠。適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、彎曲變形情況、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、孔隙間隙、表面缺陷、波紋度、臺階高度、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。能夠做到在線監測、數據分析、超差報警、數據存儲等，協助監測人員及時發現缺陷產生的原因。能有效監控相關設備的性能，實現表面質量判定自動化，減少了因表面缺陷而引起的損失。

SuperViewW1光學3D表面輪廓儀應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

技術參數

產品型號：SuperView W系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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