中圖儀器材料幾何輪廓共聚焦顯微鏡技術(shù)（VT6000系列）聚焦幾何輪廓測量核心需求，高度測量精度≤(0.2+L/100)μm，重復(fù)性≤12nm，可精準捕捉臺階、曲率、平面度等核心幾何參數(shù)；寬度測量精度±2%，重復(fù)性≤40nm，清晰還原微小輪廓的尺寸細節(jié)。

中圖儀器VT6000材料共聚焦顯微鏡系統(tǒng)主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，如材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數(shù)的測量，具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務(wù)。廣泛用于半導(dǎo)體制造、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域中。

中圖儀器VT6000系列微納材料共聚焦顯微鏡在半導(dǎo)體、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域，3D+2D全維測量各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，一臺設(shè)備滿足多維度檢測需求。

VT6000粗糙度輪廓度共聚焦顯微鏡具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務(wù)。主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，賦能超精密加工行業(yè)高效管控，如半導(dǎo)體制造、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域。

VT6000微米級粗糙度共聚焦顯微鏡結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。

VT6000中圖儀器共聚焦顯微鏡具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實現(xiàn)更準確的操作。