SuperViewW高精度光學3D輪廓測量儀實現各種精密器件及材料表面的亞納米級測量。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

SuperViewW光學3D輪廓儀檢測儀以白光干涉技術為原理，針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求，其復合型EPSI重建算法解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。

SuperViewW光學非接觸式粗糙度3D輪廓儀采用白光干涉技術，結合具有抗噪性能的3D重建算法，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

中圖儀器SuperViewW系列0.1nm分辨率白光干涉光學輪廓儀能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

中圖儀器SuperViewW光學3D輪廓儀粗糙度在線檢測設備基于白光干涉原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

SuperViewW廣東光學3D輪廓儀表面粗糙度檢測儀器基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。