中圖儀器激光干涉儀

一.中圖儀器激光干涉儀顯著特點

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

二.中圖儀器激光干涉儀功能

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有*的精度和效率，而且及時處理數據，為機床誤差修正提供依據。

三.執行標準

四.中圖激光干涉儀技術參數

• 測量方式：單頻

• 穩頻精度：0.05ppm

• 動態采集頻率：50 kHz

• 預熱時間：5-10分鐘

• 工作溫度范圍：0~40℃

• 環境溫度范圍：0~40℃

• 存儲溫度范圍：-20℃~70℃

• 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

• 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

• 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

• 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

• 測量距離：0-40m

• 測量精度：0.5ppm (0-40℃)

• 測量分辨率：1nm

• 測量zui大速度：4m/sec