超光滑硅晶片表面光學(xué)輪廓儀

中圖儀器超光滑硅晶片表面光學(xué)輪廓儀SuperViewW系列以0.1nm級(jí)分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，一站式解決超精密測(cè)量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測(cè)效率低等測(cè)量難題。它可以各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

一、產(chǎn)品特點(diǎn)

1.超高精度，數(shù)據(jù)可追溯：基于白光干涉技術(shù)，形貌重復(fù)性低至0.1nm，粗糙度RMS重復(fù)性僅0.005nm，臺(tái)階測(cè)量準(zhǔn)確度達(dá)0.3%。搭配0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)與氣浮隔振底座，即便在車間振動(dòng)環(huán)境中，也能輸出穩(wěn)定可靠的數(shù)據(jù)，滿足ISO/ASME等300余種國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)要求。

2.高效自動(dòng)化，降本增效：W1-Ultra型號(hào)在0.1nm分辨率下掃描速度高達(dá)8μm/s，單區(qū)域、多區(qū)域測(cè)量一鍵啟動(dòng)，批量樣品可通過編程預(yù)設(shè)流程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化檢測(cè)。某3C電子代工廠應(yīng)用后，檢測(cè)效率提升60%，日均處理樣品量從300件增至480件，人力成本降低30%。

二、全場(chǎng)景適配

1.單一掃描模式覆蓋超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質(zhì)，10mm Z向掃描范圍搭配方形、圓形等多種自動(dòng)拼接模式，支持?jǐn)?shù)千張圖像無縫拼接，輕松應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體研磨件、3C玻璃屏、光學(xué)元件等不同類型工件的測(cè)量需求。

2.標(biāo)配10×干涉物鏡（可選2.5×-100×），320×200mm載物臺(tái)適配不同尺寸工件，滿足多樣化檢測(cè)需求。

三、自研測(cè)量軟件

Xtremevision Pro第二代3D測(cè)量軟件，可自動(dòng)識(shí)別中圖W/VT/WT系列機(jī)型，支持白光干涉與共聚焦模式自由切換，能直接測(cè)量微觀平面輪廓的距離、角度等參數(shù)，搭配批量分析與多格式報(bào)表導(dǎo)出功能，適配質(zhì)檢存檔與工藝優(yōu)化全流程。

四、重點(diǎn)行業(yè)應(yīng)用

1.半導(dǎo)體制造及封裝：精準(zhǔn)測(cè)量硅晶片研磨減薄后的表面粗糙度、光刻槽道形貌，某頭部半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用后，工藝良率提升8%，檢測(cè)數(shù)據(jù)與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)樣塊偏差＜0.1%。

2.3C電子：適配手機(jī)玻璃屏粗糙度檢測(cè)、金屬殼模具瑕疵識(shí)別、油墨屏高度差測(cè)量，批量檢測(cè)無需重復(fù)調(diào)試，報(bào)表自動(dòng)導(dǎo)出（Word/Excel/PDF），滿足企業(yè)質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)化需求。

3.光學(xué)加工：針對(duì)納米臺(tái)階、光學(xué)元件表面粗糙度測(cè)量，實(shí)現(xiàn)916.5nm臺(tái)階高度精準(zhǔn)量化，助力某光學(xué)廠商降低產(chǎn)品返工率12%。

4.汽車零部件與MEMS器件：檢測(cè)精密齒輪磨損情況、軸承孔隙間隙，在復(fù)雜車間環(huán)境中保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定，某車企將零部件質(zhì)檢周期從1.5小時(shí)縮短至40分鐘。

五、產(chǎn)品配置服務(wù)

1. 自研軟件平臺(tái)：Xtremevision Pro支持多機(jī)型自動(dòng)識(shí)別，白光干涉與共聚焦模式自由切換，可直接測(cè)量微觀輪廓的距離、角度等參數(shù)。

2. 靈活硬件配置：320×200mm載物臺(tái)（負(fù)載10kg），標(biāo)配10×干涉物鏡，可選2.5×-100×鏡頭，適配不同尺寸、類型工件。

3. 安全與便捷：集成式操縱桿控制XYZ軸、速度及光源亮度，急停功能一鍵觸發(fā)，新手培訓(xùn)1天即可獨(dú)立操作。

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置以實(shí)際交付為準(zhǔn)，中圖儀器保留根據(jù)技術(shù)升級(jí)調(diào)整的權(quán)利，恕不另行通知。

SuperViewW系列超光滑硅晶片表面光學(xué)輪廓儀以高精度、高效率、高適配的核心優(yōu)勢(shì)，為精密制造、科研檢測(cè)等領(lǐng)域提供一站式測(cè)量解決方案。如需獲取產(chǎn)品演示視頻、行業(yè)定制化方案或免費(fèi)樣品測(cè)試，歡迎隨時(shí)聯(lián)系。