0.2ppm高精度光纖激光尺

中圖儀器PLR3000系列0.2ppm高精度光纖激光尺是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進位置檢測設備，10nm分辨率+0.2ppm線性精度，滿足納米級測量需求，是特別為超高精度位置反饋應用而設計，在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

一、產品功能

1. 納米級信號輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環境自適應：一體化環境氣象站，實時補償環境參數對測量的影響，數據長期可靠；

3. 靈活安裝設計：激光主機與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實現多自由度測量；

5. 雙重使用模式：既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統實現閉環位置反饋控制；

二、

功能特點

1.高分辨率數字正交信號輸出，分辨率達10nm（可外部拓展）。  

2.高測量精度，線性測量精度達0.2~0.5ppm。

3.高穩頻精度，可達0.02~0.05ppm。

4.測量范圍大，最大量程可達4m（可拓展）。

5.激光發射裝置與干涉探頭分離，通過3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機遠離被測量設備，便于安裝，同時還可避免主機散熱對測量通路的影響。

6.輸出正交數字信號或1Vpp正余弦信號，可以適用于不同的控制器。

7.體積小巧，適合狹小空間安裝，可最大限度降低阿貝誤差。 

8.即可作為激光干涉儀進行測量，也可用于閉環位置反饋控制。

9.多通道輸出，可輕松實現多軸同時測量及多自由度測量。

10.環境補償功能，一體化的環境氣象站自動監視及更新環境氣象參數，實時補償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測量的準確性。

三、產品應用

1.半導體制造：光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。

2.航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準。

3.精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量。

4.科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制。

相比傳統鋼帶尺或玻璃光柵，PLR3000系列0.2ppm高精度光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設計，保證了更高的穩定性，具有安裝快捷，易于準直等特點，可根據用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實現多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置，用戶可根據實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內置干涉鏡組的測量探頭，滿足用戶各種復雜場景應用。

產品參數將根據技術迭代持續優化，故本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。