激光干涉尺測量儀

PLR3000激光干涉尺測量儀是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。PLR3000系列0.02ppm穩頻精度光纖激光尺突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。

相比傳統鋼帶尺或玻璃光柵，PLR3000激光干涉尺測量儀具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設計，保證了更高的穩定性，具有安裝快捷，易于準直等特點。可根據用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實現多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置，用戶可根據實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內置干涉鏡組的測量探頭，滿足用戶各種復雜場景應用。

核心優勢

1. 高精度

（1）分辨率10nm（可拓展），線性測量精度0.2ppm，穩頻精度0.02ppm，滿足納米級測量需求。

（2）環境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數據長期穩定。

2. 靈活配置

（1）支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實現多自由度測量。

（2）可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場景。

3. 高穩定性與便捷性

（1）激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。

（2）體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風險。

4. 廣泛適用性

大量程4米（可拓展），支持動態速度達2m/s，覆蓋從靜態檢測到高速運動場景。

功能特點

（1）高分辨率數字正交信號輸出，分辨率達10nm（可外部拓展）。 

（2）高測量精度，線性測量精度達0.2~0.5ppm。

（3）高穩頻精度，可達0.02~0.05ppm。

（4）測量范圍大，最大量程可達4m（可拓展）。

（5）激光發射裝置與干涉探頭分離，通過3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機遠離被測量設備，便于安裝，同時還可避免主機散熱對測量通路的影響。

（6）輸出正交數字信號或1Vpp正余弦信號，可以適用于不同的控制器。

（7）體積小巧，適合狹小空間安裝，可最大限度降低阿貝誤差。 

（8）即可作為激光干涉儀進行測量，也可用于閉環位置反饋控制。

（9）多通道輸出，可輕松實現多軸同時測量及多自由度測量。

（10）環境補償功能，一體化的環境氣象站自動監視及更新環境氣象參數，實時補償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測量的準確性。

典型應用場景

半導體制造：光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。

航空航天：發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準。

精密加工：數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量。

科研領域：光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制。

服務與支持

定制化方案：根據需求提供探頭配置、量程拓展、環境補償單元等靈活選配。

專業認證：提供中國計量院或深圳市計量院出具的激光校準證書，確保數據性。

全球服務網絡：1年質保，技術支持團隊7×24小時響應，快速解決現場問題。