高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀

中圖儀器SJ6000高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償。儀器配備的EC20環(huán)境補(bǔ)償單元，由環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)（內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個(gè)材料溫度傳感器組成，可實(shí)現(xiàn)對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實(shí)時(shí)高精度檢測。

SJ6000高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

測量案例

SJ6000激光干涉儀為機(jī)床機(jī)定位誤差（螺距補(bǔ)償）、反向間隙修正提供依據(jù)。操作人員通過定每個(gè)機(jī)床軸的補(bǔ)償值來消除機(jī)床定位系統(tǒng)中的定位誤差。后期通過對機(jī)床軸的補(bǔ)償，可以將誤差降低到幾乎為零的程度，大大提高機(jī)床作業(yè)精度。補(bǔ)償時(shí)需要先獲得正確的誤差補(bǔ)償值，操作人員需在軸上的不同點(diǎn)測量機(jī)床的預(yù)期位置和實(shí)際位置之間的微小差異。

進(jìn)行重復(fù)定位測量前，需要使用附件里的兩個(gè)外加螺絲將其中一個(gè)線性反射鏡安裝在分光鏡上，這個(gè)組合裝置稱為“線性干涉鏡"。線性干涉鏡放置在激光器和線性反射鏡之間的光路上，用它的反射光線形成激光光束的參考光路。另一束光通過分光鏡入射到線性反射鏡，通過線性反射鏡的移動來實(shí)現(xiàn)線性定位測量。

使用激光干涉儀測量定位誤差，并用檢定軟件進(jìn)行記錄，可以輕松獲取軸上多點(diǎn)測量的誤差表。這些誤差能夠被轉(zhuǎn)譯成補(bǔ)償值，在相應(yīng)機(jī)床控制器軟件位置進(jìn)行補(bǔ)償值的寫入，實(shí)現(xiàn)機(jī)床的定位誤差補(bǔ)償（螺距補(bǔ)償）、反向間隙補(bǔ)償。

對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元在出廠前，會依照相關(guān)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)對各環(huán)境參量進(jìn)行精確校準(zhǔn)，通常情況下建議24個(gè)月校準(zhǔn)一次。

在使用EC20環(huán)境補(bǔ)償單元過程中，在不影響測量光路和被測物體運(yùn)動的前提下，建議將環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。至于材料溫度探頭該如何布置或應(yīng)用，則需分不同的測量場合與不同的被測對象。

環(huán)境補(bǔ)償單元技術(shù)指標(biāo)

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

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