納米級白光干涉儀

中圖儀器SuperViewW1納米級白光干涉儀是一款專用于超精密加工領域的光學檢測儀器，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

產品功能

(1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用范例：

在光學行業中的應用

光學器件，例如各種光學鏡片和玻璃，屬于超精密加工的產物，因此其表面質量等級都非常高，接觸式輪廓儀會劃傷表面，而且由于其高透明度，一般的非接觸式光學影像方法也束手無策，而中圖儀器利用光學干涉原理研制而成的SuperView W1光學3D表面輪廓儀，能解決這兩個難題，為光學鏡片和玻璃的表面質量檢測提供了標準解決方案。

光學透鏡檢測

藍寶石玻璃檢測

玻璃屏檢測

玻璃表面臺階檢測

SuperViewW1納米級白光干涉儀廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

部分技術指標

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