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    SJ6000高精度激光干涉儀

    簡要描述:SJ6000高精度激光干涉儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進行動態(tài)高速測量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;支持手動或自動進行環(huán)境補償。

    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新時間:2025-03-08
    • 訪  問  量:1344

    詳細介紹

    品牌中圖儀器產(chǎn)地國產(chǎn)
    加工定制

    SJ6000高精度激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

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    SJ6000高精度激光干涉儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進行動態(tài)高速測量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。


    功能廣

    可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

    可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

    可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量;

    可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準;

    可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

    具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

    支持手動或自動進行環(huán)境補償。

    對機床精度再校準.jpg

    對機床精度再校準

    導(dǎo)軌直線度檢測.jpg

    導(dǎo)軌直線度檢測


    技術(shù)規(guī)格

    穩(wěn)頻精度0.05ppm
    動態(tài)采集頻率50 kHz
    預(yù)熱時間≤ 6分鐘
    工作溫度范圍(0~40)℃
    存儲溫度范圍(-20~70)℃
    環(huán)境濕度(0~95)%RH
    線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
    線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
    角度軸向量程(0~15)m
    角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″




    軟件強

    友好的人機界面;

    豐富的應(yīng)用功能模塊;

    向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/span>

    簡潔化的記錄管理;

    支持中文、英文和俄文界面;

    支持企業(yè)專屬模板定制。


    EC20環(huán)境補償單元

    中圖儀器SJ6000激光干涉儀配備的EC20環(huán)境補償單元,由環(huán)境補償主機(內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器)、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成,可實現(xiàn)對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。


    EC20環(huán)境補償單元.png

    EC20環(huán)境補償單元


    EC20環(huán)境補償單元在出廠前,會依照相關(guān)計量標準對各環(huán)境參量進行精確校準,通常情況下建議24個月校準一次。在使用EC20環(huán)境補償單元過程中,在不影響測量光路和被測物體運動的前提下,建議將環(huán)境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。


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