三維光學(xué)輪廓儀

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，具有高精度、高重復(fù)性特點(diǎn)。一體化操作的測量分析軟件，以及集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

儀器分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、臺階高度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

輪廓分析步驟

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方；

2.檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài)；

3.使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸，找到樣品表面干涉條紋；

4.微調(diào)XY軸，找到待測區(qū)域，并重新找到干涉條紋；

5.完成掃描設(shè)置和命名等操作；

6.點(diǎn)擊開始測量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會）；

7.臺階樣品分析第一步：校平；

8.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“校平"圖標(biāo)，和平面樣品不同，臺階樣品需手動選取基準(zhǔn)區(qū)域，選好基準(zhǔn)區(qū)域后，先“全部排除"再“包括"；

9.若樣品表面有好幾處區(qū)域均為平面且高度一致，可多選擇幾個區(qū)域作為基準(zhǔn)面進(jìn)行校平；

10.臺階高度測量：線臺階高度測量

11.進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“臺階高度"圖標(biāo)，即可直接獲取自動檢測狀態(tài)下的面臺階高度相關(guān)數(shù)據(jù)；

12.在右側(cè)點(diǎn)擊“手動檢測"，根據(jù)需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區(qū)域，數(shù)據(jù)欄可直接讀取兩個區(qū)域的面臺階高度數(shù)值；

13.臺階高度測量：線臺階高度測量

14.進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“提取剖面"圖標(biāo)，使用合適方向的剖面線，提取目標(biāo)位置的剖面輪廓曲線；

15.進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“臺階高度"圖標(biāo)，由于所測為中間凹槽到兩側(cè)平面高度，因此點(diǎn)擊右側(cè)工具欄，測量條對數(shù)選擇“2"，將紅色基準(zhǔn)線對放置到凹槽平面中間，兩對測量線對分別放置在兩側(cè)平面，即可在數(shù)據(jù)纜讀取臺階高度數(shù)據(jù)。

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。