三維光學表面輪廓儀

中圖SuperViewW1三維光學表面輪廓儀以白光干涉技術為原理，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用領域

SuperViewW1三維光學表面輪廓儀對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

輪廓分析步驟

1.將樣品放置在載物臺鏡頭下方；

2.檢查電機連接和環境噪聲，確認儀器狀態；

3.使用操縱桿調節Z軸，找到樣品表面干涉條紋；

4.微調XY軸，找到待測區域，并重新找到干涉條紋；

5.完成掃描設置和命名等操作；

6.點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會）；

7.臺階樣品分析第一步：校平；

8.進入數據處理界面，點擊“校平"圖標，和平面樣品不同，臺階樣品需手動選取基準區域，選好基準區域后，先“全部排除"再“包括"；

9.若樣品表面有好幾處區域均為平面且高度一致，可多選擇幾個區域作為基準面進行校平；

10.臺階高度測量：線臺階高度測量

11.進入分析工具界面，點擊“臺階高度"圖標，即可直接獲取自動檢測狀態下的面臺階高度相關數據；

12.在右側點擊“手動檢測"，根據需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區域，數據欄可直接讀取兩個區域的面臺階高度數值；

13.臺階高度測量：線臺階高度測量

14.進入數據處理界面，點擊“提取剖面"圖標，使用合適方向的剖面線，提取目標位置的剖面輪廓曲線；

15.進入分析工具界面，點擊“臺階高度"圖標，由于所測為中間凹槽到兩側平面高度，因此點擊右側工具欄，測量條對數選擇“2"，將紅色基準線對放置到凹槽平面中間，兩對測量線對分別放置在兩側平面，即可在數據纜讀取臺階高度數據。