OP光學輪廓儀

SuperViewW1OP光學輪廓儀也稱為白光干涉儀 (WLI)，是一款以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。測量三維形貌的系統原理是在視場范圍內從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數百幅干涉條紋圖像，找到該過程中每一個像素點處于光強最大時的位置，完成3D重建。

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結果組成：

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

部分參數

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復性：0.1nm

表面形貌重復性：0.1nm

臺階測量重復性：0.1% 1σ；準確度：0.75%

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OP光學輪廓儀主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓，也能測量晶圓翹曲度，適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。