sj6000激光干涉儀

任何機床加工設備，在長時間的使用都會由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發生。一般出現這種情況時，就需要使用激光干涉儀進行精度的再校準，sj6000激光干涉儀可同時測量出機床的螺距誤差值和反向間隙（又稱背隙），通過精度再校準，加工精度會大大提高。

可調轉向鏡應用實例斜床的傾斜軸測量

輕型線性鏡組附件應用實例

sj6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

技術參數

產品型號：SJ6000

產品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩頻方式：激光熱穩頻

穩頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動態采集頻率：50KHz

預熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%

主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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通過與不同的光學鏡組結合，能實現對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。線性測長精度0.5ppm，激光穩頻精度：0.05ppm。在動態測量軟件配合下，還可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。