非接觸粗糙度測量儀

各種光學鏡片和玻璃等超精密加工產物，其表面質量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學影像方法，也沒有辦法克服它的高透明度特性。

中圖儀器SuperViewW1 非接觸粗糙度測量儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

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SuperViewW1 非接觸粗糙度測量儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，能夠以優于納米級的分辨率實現器件表面形貌的3D測量。廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域中的表面形貌紋理，微觀結構分析，具有的測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數齊全等優點。

產品特點

1、非接觸式測量：避免物件受損。

2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-10mm。

3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。

5、高速數字信號處理器：實現測量僅需要幾秒鐘。

6、掃描儀：采用閉環控制系統。

7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。

8、測量軟件：基于windows操作系統的用戶界面，強大而快速的運算。