光學表面輪廓測量儀

中圖儀器光學表面輪廓測量儀可以在無外接氣源的條件下可穩定工作，在車間也能正常工作。因為其雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，也可以有效隔絕地面傳導的振動，同時內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動。

重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。

產品參數

產品型號：SuperView W1系列

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析，測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋：更多詳細產品信息，請聯系我們獲取

深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術企業，致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發、生產和銷售。歷經了十多年的技術積累和發展實踐，專業覆蓋面廣，專項技術能力強，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。

【應用】

應用案例：手機曲面屏玻璃的檢測

各種光學鏡片和玻璃等超精密加工產物，其表面質量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學影像方法，也沒有辦法克服它的高透明度特性。中圖儀器SuperViewW1為玻璃和光學鏡片的表面質量提供了標準解決方案。

生活中智能手機、平板電腦、智能手表等日常的智能產品中常見的玻璃屏，需要對其表面粗糙度和輪廓進行檢測。以手機玻璃屏為例：

玻璃屏表面粗糙度檢測

中圖儀器以白光干涉測量技術為基礎而研發生產出的SuperViewW1光學表面輪廓測量儀對產品進行高品質監控時不需要取下產品或停止生產，而且采用的是非接觸式光學測量，在獲得實時數據的同時，不會對產品造成任何損傷，從而有效節約了生產成本，提高了生產效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。