激光平面干涉儀

中圖儀器激光平面干涉儀采用氦氖激光器作為光源，精度高，抗干擾強，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環境條件的要求，使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。

系統組件

1、激光主機

精準——激光頻率穩定度高，可溯源至國家標準。

中圖儀器激光平面干涉儀主機由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口，可與計算機高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發信號輸入和正交信號輸出，以及其它擴展應用。

2、EC20環境補償單元

可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進行自動環境補償。

激光干涉儀是以激光波長為載體，測量過程中環境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會影響激光波長。

EC20環境補償單元可實時檢測環境條件的變化，同事進行激光波長補償。

EC20環境補償單元可連接三個材料溫度探頭，監測被測對象其材料的溫度變化，同事進行材料的熱膨脹補償。

EC20環境補償單元采用低功耗設計，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現場使用，EC20環境補償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標準線長5m，亦可定制線長。

3、三腳架及便攜箱

其他組件

1、光學鏡組

（1）線性鏡組

應用于機器軸的定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等；也可用于機器軸的動態測量分析。

（2）角度鏡組

應用于機器軸的角擺測量和轉軸的旋轉角度測量；亦可以用于轉軸的角速度和角加速度的動態測量分析。

（3）直線度鏡組

應用于導軌或機器軸的直線度測量，包含水平方向和垂直方向的直線度。

（4）平面度鏡組

按照國標方式進行平面度的測量和分析，其平面度羈絆長度可調。

（5）線性附件-輕型線性鏡組

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡重量僅為8g，可以直接在被測物體上，有效降低線性反射鏡過重帶來的影響。主要應用于先行反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機械性能或精度；線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合；負載敏感的動態測量。

（6）大角錐反射鏡

應用于機器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量，起反射光束的作用。

（7）垂直度鏡組

應用于兩條相互垂直的機器軸的垂直度測量場合。

2、其他附件

（1）線性附件-可調轉向鏡

能把水平射出的激光俯仰偏轉25°以上，結合線性鏡組可用于傾斜機床、三坐標對角線的測量。

（2）磁性表座

科隙蛛在鋼鐵表面，通過轉動手柄，來轉動里面的磁鐵，特別適用于機床和導軌上面的安裝。配合安裝柱使用，可將安裝柱鎖緊在磁性表座上。

（3）直線度基板

用于機器Z軸的垂直度測量，需配合磕掉轉向鏡和大角錐反射鏡使用。

（4）輔助安裝塊

用于鏡組不能直接安裝的場合。配合磁性表座使用；也可以直接結合安裝柱使用。

（5）垂直度安裝附件

在測量機器Z軸垂直度時，用于安裝90°轉向鏡。

（6）夾緊孔座

用于鏡組的安裝和夾持，可緊固各鏡組在安裝柱上。

（7）90°轉向鏡

應用于機器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量，起偏轉光束的作用。

（8）安裝柱

主要用于夾緊孔座的安裝定位，可鎖在磁性表座或輔助安裝塊上。安裝柱可以相互對接延長，以便增加夾緊孔座的可調范圍。

中圖激光干涉儀測量分辨率0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。