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NS系列薄膜臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
中圖儀器CEM3000系列國產掃描顯微電鏡采用的鎢燈絲電子槍,發射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。
VT6000微米級粗糙度共聚焦顯微鏡結合高穩定性結構設計和3D重建算法,共同組成測量系統,主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。在相同物鏡放大的條件下,共焦顯微鏡所展示的圖像形態細節更清晰更微細,橫向分辨率更高。
CEM3000系列SEM掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍,發射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。
CEM3000系列100Pa倉內真空度掃描電鏡采用的鎢燈絲電子槍,發射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。搭配有多種探頭,能夠對樣品進行多種手段的分析。
中圖儀器臺階儀廠家NS系列通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。
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