共聚焦顯微鏡在化學機械拋光課題研究中的應(yīng)用

兩個物體表面相互接觸即會產(chǎn)生相互作用力，研究具有相對運動的相互作用表面間的摩擦、潤滑與磨損及其三者之間關(guān)系即為摩擦學，目前摩擦學已涵蓋了化學機械拋光、生物摩擦、流體摩擦等多個細分研究方向，其研究的數(shù)值量級也涵蓋了亞納米到百微米的區(qū)間。摩擦本身是一種能量損耗現(xiàn)象，然而得到合理地利用也能產(chǎn)生巨大的正面效益，因此，準確地測定磨損量并進行精確的控制，是摩擦學研究中的一個重難點。

作為一家專業(yè)的微納3D形貌檢測儀器廠商，中圖儀器的SuperView系列光學3D表面輪廓儀已在國內(nèi)各**高校從事化學機械拋光課題研究的教授群體中得到廣泛應(yīng)用，因樣件多為超光滑拋光表面，采用光學3D表面輪廓儀較為合適，其中較為關(guān)鍵的粗糙度Sa和Ra等參數(shù)，能夠確保0.1nm的精度。而針對磨損區(qū)域較大、坡度也較為陡峭的生物摩擦和流體摩擦領(lǐng)域，采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡則更加匹配，其遠勝于光學3D表面輪廓儀的大角度測量能力和超景深觀察功能，能夠輕松勝任磨損較為嚴重的表面形貌檢測，從而幫助研究人員更加精準的掌握磨損量評價數(shù)據(jù)。