國產激光干涉儀的光路調節方法

　　國產激光干涉儀是以光波為載體，測量精度高，測量速度快，測量范圍大，其光波長可直接定義為米，并可追溯到標準。以其良好的性能、在很多場合，特別是在大長度與大位移的測量中得到廣泛應用。廣泛應用于數控機床等儀器的質量控制和校準，以及科研開發、設備制造等領域。
 

　　結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數的高精度測量。在動態測量軟件的配合下，可以實現線性位移、角度和直線度的動態測量和性能檢測，以及位移、速度、加速度、振幅和頻率的動態分析。在調節光路時，請遵循以下基本流程：
 

　　1、將國產激光干涉儀放置在可調底座(如有)上，通電點亮激光器，等待其預熱；如預熱結束，尾部的“READY”LED指示燈會顯示綠色。鎖定激光器位置。
 

　　2、將所有導光元件初步固定在導光元件可調底座上，并安裝在設計位置；沿著光路順序，逐個調節導光元件。遇到光路分叉時，請先調節反射光路，然后調節投射光路。調節時請注意以下兩點：
 

　　a：出光口的光闌，選擇大光斑(6mm或者9mm光斑)，依次調整導光元件的橫向位置，使光束從導光元件通光孔的中心入射，保證光束不會出現消光現象；
 

　　b：選擇小光斑(3mm光斑)，依次調節各個導光元件的位置。將一平面鏡(前后面平行度較高)緊貼導光元件的反射光出口處，通過調整可調底座的俯仰度和傾斜度，使反射光沿原路返回至激光器出光處。然后鎖緊導光元件的位置。
 

　　3、裝調完所有的導光元件之后，再安裝干涉儀。