中圖儀器SJ6000激光干涉儀在高精密直驅平臺上的應用

高精密直驅平臺廣泛應用于半導體晶圓檢測、微電子組件測試取放、DNA測序、激光加工等領域，定位精度要求高，線性位移100mm行程范圍內定位誤差要求≤1μm。人類頭發直徑約70μm，就是要比人類頭發直徑的70分之1還要小，如此高定位精度的平臺測量和校準普通檢測設備根本無法做到。

中圖儀器SJ6000激光干涉儀為客戶直驅平臺定位精度的測量和驗證提供了良好的解決方案，精度達到納米級，在穩定的實驗條件下滿足了客戶測量和校準的要求，提高了客戶產品的質量和檢測效率，取得了不錯的市場反響。

測量時，根據直驅平臺移動模式設定好SJ6000軟件采集設置。測量時實時顯示測量誤差，完成后即時生成測量報告。報告顯示設備的定位精度在100nm內，反向差值在40nm內。

SJ6000激光干涉儀采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。